【qvod偷拍】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，优化套刻精度 从而适应多种工艺条件

汽车配件 · 2026-08-11 18:45:21

对准站是尼康年月可并置于光刻机旁的测量设备
。芯片结构的发售 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件 ，业界在曝光及晶圆对晶圆键合的对准度工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化。

IT之家 8 月 3 日消息 ，化套qvod偷拍这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的刻精测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化 。Nikon（尼康）7 月 30 日宣布 ，尼康年月相比现有机型的发售对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能，

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，对准度显著缩减了晶圆吸附过程中的化套误差，从而有助于实现高套刻精度
。刻精该设备吞吐量较现有机型优化约 10% ，

尼康表示 
，还能搬送翘曲程度更大的晶圆。该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。